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		<title>Mems - 修訂歷史</title>
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		<summary type="html">&lt;p&gt;新頁面: 微機電系統 (Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)  整合電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質到單一或多晶片上。  為一個智慧型微小化...&lt;/p&gt;
&lt;p&gt;&lt;b&gt;新頁面&lt;/b&gt;&lt;/p&gt;&lt;div&gt;微機電系統 (Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
整合電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質到單一或多晶片上。&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
為一個智慧型微小化的系統，包含感測、處理或致動的功能，&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
References:&lt;br /&gt;
*[http://www.eettaiwan.com/SEARCH/ART/MEMS.HTM 電子工程專輯]&lt;br /&gt;
*[http://elearning.stut.edu.tw/m_facture/Nanotech/Web/AboutMEMS.htm 南台科大]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Itchen</name></author>	</entry>

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